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智能控溫烘箱是針對光刻工（gōng）藝中hmds預處（chù）理的設備，被廣泛的應（yīng）用於（yú）半導體生產加（jiā）工等（děng）方麵使用，可見烘箱溫度控製的重要（yào）性（xìng），要掌（zhǎng）控溫度必然需要精密的溫度傳感器（qì），以確保溫度準確有效控（kòng）製。因此（cǐ）溫度的控製自然成了工業烤箱、烘箱、高溫烘箱的基本技術，為保證溫度控製的準確性及故障信息反映的及時性，烘箱內必須具有精密的溫度傳感器測（cè）試係統。
智能控溫烘（hōng）箱的（de）安全（quán）操作規程（chéng）：
1、烘箱要按照銘牌上所規定的溫度（dù）範圍使用，烘箱必須保持接地良好。
2、烘箱附近不得堆放（fàng）油盆、油桶、棉（mián）紗、布屑等（děng）易燃物品，不得在電烘箱旁進行洗滌（dí）、刮漆和噴漆等工作。
3、要防止其他物件落入烘箱底部與電阻絲接觸造（zào）成短（duǎn）路。
4、打開電烘箱前，必須先斷電。加溫過程中操（cāo）作者不得離開。
5、不得在電烘箱內存放物品，如工具，器材零（líng）件及油料揮發物。
6、經過汽油、煤油、酒精、香（xiāng）蕉水易燃液洗（xǐ）滌過的零件及噴漆過的物品，應在室溫下放置15到（dào）30分鍾，待絕大（dà）部分易燃液體揮發後，才能放入HMDS烘箱內烘烤，室內應注（zhù）意通風。
7、烘箱在工作（zuò）時不得進行清潔（jié）工作，更不得用汽（qì）油擦拭。
8、非金屬物品放入電烘箱內加溫，一定要按照工藝規程（chéng）進行。
9、使用（yòng）前（qián）要檢查自控（kòng）裝置，指示信號是否靈敏（mǐn）有效，電氣線路絕緣是否完好可靠。
